一種半導(dǎo)體晶片自定位對(duì)中機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720222471.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206639787U 公開（公告）日 2017-11-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN206639787U 申請(qǐng)公布日 2017-11-14
分類號(hào) H01L21/68(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曹志濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江卓晶科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京眾合誠成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 韓燕燕;連圍
地址 313100 浙江省湖州市長興縣泗安鎮(zhèn)工業(yè)區(qū)浙江卓晶科技有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體晶片自定位對(duì)中機(jī)構(gòu)，包括工作臺(tái)、沿晶片傳送方向滑動(dòng)設(shè)置在該工作臺(tái)上的承載單元以及設(shè)置于該承載單元一側(cè)的對(duì)中單元，所述承載單元包括用于放置晶片的圓形承載平臺(tái)以及對(duì)稱可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在該承載平臺(tái)的圓周面上的限位組件；所述對(duì)中單元包括驅(qū)動(dòng)組件以及固定于該驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)端的對(duì)中塊，該對(duì)中塊的內(nèi)表面為圓弧形，其兩端部可分別與相對(duì)應(yīng)的限位組件的內(nèi)側(cè)面相抵觸。本實(shí)用新型通過設(shè)置在承載單元一側(cè)的對(duì)中單元配合承載單元的限位組件，使得半導(dǎo)體晶片移動(dòng)至加工處理工位時(shí)，調(diào)整承載單元整體的對(duì)中位置進(jìn)而確保晶片對(duì)中精度，對(duì)中精度高，對(duì)中位置易于控制。