具有低表面粗糙度的壓印模具及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410857252.6 申請日 -
公開（公告）號 CN104570595B 公開（公告）日 2019-06-11
申請公布號 CN104570595B 申請公布日 2019-06-11
分類號 G03F7/00（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 徐厚嘉; 楊兆國; 祝連忠; 平財明 申請（專利權(quán)）人 上海量子繪景電子股份有限公司
代理機構(gòu) 上海光華專利事務所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 201806 上海市嘉定區(qū)外岡鎮(zhèn)匯富路946號3幢203室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種具有低表面粗糙度的壓印模具及其制備方法，所述壓印模具為鍍鎳母版，包括鎳底板以及結(jié)合于所述鎳底板表面的多個鎳凸起結(jié)構(gòu)，所述鎳凸起結(jié)構(gòu)的表面及側(cè)面為光潔面。本發(fā)明在玻璃基底上貼干膜，對干膜進行曝光顯影后電鍍鎳層，得到壓印模具。由于干膜通過光刻、顯影等處理，壓印模具的側(cè)壁光潔度良好，具有非常低表面粗糙度。此外，采用本發(fā)明制備的壓印模具深度可達10~50μm，大大提高了模具的應用范圍，可作為電鑄母版使用。