微機電系統(tǒng)裝置及其制造方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201810065286.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN110065924B | 公開（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申請公布號 | CN110065924B | 申請公布日 | 2021-09-14 |
| 分類號 | B81B7/00;B81C1/00 | 分類 | 微觀結構技術〔7〕; |
| 發(fā)明人 | 錢元晧;曾立天;郭致良 | 申請（專利權）人 | 蘇州明皜傳感科技股份有限公司 |
| 代理機構 | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人 | 郭蔚 |
| 地址 | 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)若水路388號E0804室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種微機電系統(tǒng)裝置的制造方法包含在后續(xù)形成一氣密腔的區(qū)域內設置至少一個接合面積較小的接合部，以及在接合部的接合表面設置金屬吸收劑。依據此結構，在基板接合定義出氣密腔時，因接合面積較小的接合部承受較大的接合壓力，使得金屬吸收劑被擠出接合位置，被擠出的金屬吸收劑經活化即可吸收氣密腔內的水氣。依據上述制程，無需額外增加制程即可移除氣密腔內的水氣。同時亦揭露一種以上述制造方法制造的微機電系統(tǒng)裝置。 |
