一種超精密磨削砂輪及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011404932.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112536733B 公開（公告）日 2022-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN112536733B 申請(qǐng)公布日 2022-03-22
分類號(hào) B24D3/22（2006.01）I;B24D3/28（2006.01）I;B24D18/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 葉騰飛;張高亮;趙延軍;谷春青;錢灌文;王禮華;熊華軍;吳武山;王海龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州聯(lián)科專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 蔡艷
地址 450001河南省鄭州市高新區(qū)梧桐街121號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于超硬磨具技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種超精密磨削砂輪及其制備方法和應(yīng)用。所述超精密磨削砂輪，包括金剛石20?30份、普通磨料15?20份、聚四氟乙烯粉5?10份、改性填料5?15份、熱塑性聚氨酯橡膠粉5?10份、樹脂粉35?55份、增強(qiáng)纖維1?10份。本發(fā)明制備的砂輪鋒利度明顯提升，有效降低對(duì)半導(dǎo)體晶圓材料邊棱的切削損傷，提高表面加工質(zhì)量，降低邊緣大小不一的崩口率，增加磨削一致性。