一種用于具有導(dǎo)電屬性工件平面度的檢測方法和儀器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010967366.1 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN112254631A 公開（公告）日 2021-01-22
申請公布號(hào) CN112254631A 申請公布日 2021-01-22
分類號(hào) G01B7/34;G01B7/14 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳曉強(qiáng);張毅;?？P;時(shí)云鵬;閆道恒;李國偉 申請（專利權(quán)）人 鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州聯(lián)科專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王聚才
地址 450001 河南省鄭州市高新區(qū)梧桐街121號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于具有導(dǎo)電屬性工件平面度的檢測方法和儀器。本發(fā)明通過利用導(dǎo)電材料正負(fù)極間的間隙效應(yīng)，極間距離和擊穿電壓的關(guān)系接近直線，間隙擊穿電壓梯度基本不變的原理，將探針和砂輪及其附屬件分布做為正負(fù)兩極，通過標(biāo)準(zhǔn)件設(shè)定最小擊穿電壓和極間距離的函數(shù)，以符合該函數(shù)的電壓值調(diào)整探針與被測件的距離使空氣剛好被擊穿，測得此時(shí)探針的位置，從而得出該點(diǎn)與標(biāo)準(zhǔn)件的誤差，通過多點(diǎn)測量得出被測件的平面度，整個(gè)測量過程無接觸，實(shí)現(xiàn)了無損測量。