一種基于雜化型高質(zhì)量因子的MIM波導(dǎo)結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910627549.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110297293A 公開（公告）日 2019-10-01
申請公布號 CN110297293A 申請公布日 2019-10-01
分類號 G02B6/293 分類 光學(xué);
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 雄芯光電科技有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 322200 浙江省金華市浦江縣仙華街道東山路488號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種基于雜化型高質(zhì)量因子的MIM（金屬?介質(zhì)?金屬）波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，包括主體，所述主體上方設(shè)置有光通道；所述光通道的上方設(shè)置有第一諧振腔；所述第一諧振腔內(nèi)設(shè)置有第一諧振環(huán)；基于雜化型高質(zhì)量因子的MIM波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，具有體積小，易于集成，靈敏度高的優(yōu)點，通過在主體內(nèi)設(shè)置方形環(huán)，在方形環(huán)內(nèi)部設(shè)置圓環(huán)，從而形成不同的等離激元共振，形成雜化形的等離激元共振，所產(chǎn)生的共振類型較為穩(wěn)定，從而提高了波導(dǎo)的Q因子，使得波導(dǎo)的Q因子更加的穩(wěn)定。