電極部分覆蓋脊條的DFB激光器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010616307.X 申請日 -
公開(公告)號 CN111755950A 公開(公告)日 2020-10-09
申請公布號 CN111755950A 申請公布日 2020-10-09
分類號 H01S5/22(2006.01)I;H01S5/042(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐長達;陳偉;班德超;祝寧華 申請(專利權(quán))人 雄芯光電科技有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所;雄芯光電科技有限責(zé)任公司
地址 100083北京市海淀區(qū)清華東路甲35號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供一種電極部分覆蓋脊條的DFB激光器,包括:襯底層;下限制層,位于襯底層上;下波導(dǎo)層,位于下限制層上;有源層,位于下波導(dǎo)層上;上波導(dǎo)層,位于有源層上;上限制層,位于上波導(dǎo)層上,其內(nèi)設(shè)置有光柵,沿上限制層設(shè)置有一縱向脊波導(dǎo);歐姆接觸層,覆于脊波導(dǎo)上表面共同構(gòu)成脊條結(jié)構(gòu);絕緣層,位于上限制層表面及脊條結(jié)構(gòu)側(cè)壁;以及P面電極,覆于脊條結(jié)構(gòu)中間段的表面并沿絕緣層延伸出一外部接入電極;其中,脊條結(jié)構(gòu)的兩端未覆蓋P面電極的部分分別形成第一區(qū)域和第二區(qū)域。??