微流控芯片及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> PCT/CN2020/123310 申請日 -
公開（公告）號 WO2021078263A1 公開（公告）日 2021-04-29
申請公布號 WO2021078263A1 申請公布日 2021-04-29
分類號 B01L3/00 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 SU, YUNPENG;蘇云鵬;ZOU, YAOZHONG;鄒耀中;DENG, YANG;鄧楊;JIANG, PENG;江鵬;GU, JIAYE;顧佳燁 申請（專利權(quán)）人 成都今是科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 CHENG & PENG INTELLECTUAL PROPERTY LAW OFFICE;北京華睿卓成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
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法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種微流控芯片，該微流控芯片的芯片單元包括：CMOS襯底（101，201，301，401，501，601）；形成于該CMOS襯底（101，201，301，401，501，601）之上的微電極層（102）；形成于該CMOS襯底（101，201，301，401，501，601）之上并覆蓋該微電極層（102）的親水層（204，304，404，504，604）；形成于該親水層（204，304，404，504，604）之上的親脂層（205，305，405，505，605）；該親脂層（205，305，405，505，605）和親水層（204，304，404，504，604）具有從該親脂層（205，305，405，505，605）的頂部貫穿至該微電極層（102）的上表面的孔；該微流控芯片既能保證水溶液的潤濕，實現(xiàn)電路導(dǎo)通，同時能保證有機(jī)雙性分子實現(xiàn)自組裝，實現(xiàn)高的良率，并且可以實現(xiàn)在單個芯片中設(shè)置千萬級單元的可能，同時兼容CMOS工藝，可以提高量產(chǎn)精度控制，降低量產(chǎn)成本。