太陽能電池成膜用托盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023138850.8 申請日 -
公開（公告）號 CN213583724U 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN213583724U 申請公布日 2021-06-29
分類號 H01L21/673（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 耿茜;王慧慧 申請（專利權(quán)）人 理想萬里暉半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201306上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)江山路2699弄3號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種太陽能電池成膜用托盤。所述托盤包括盤體，所述盤體上設(shè)置有多個用于承載硅片的凹槽單元，所述凹槽單元包括位于其邊緣的硅片支撐區(qū)以及位于其中部的中空區(qū)，所述中空區(qū)上跨設(shè)有不高于所述硅片支撐區(qū)的輔助支撐件，所述輔助支撐件用于輔助支撐硅片且沿著硅片的預(yù)設(shè)切割線設(shè)置，在所述硅片對應(yīng)制成太陽能電池之后所述預(yù)設(shè)切割線被切割而使所述太陽能電池相應(yīng)分成多片。本實用新型可有效減小硅片的下垂量，從而能降低碎片率，避免硅片邊緣繞鍍、硅片整批報廢。