非接觸式高度補(bǔ)償裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822205860.5 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN209016042U 公開（公告）日 2019-06-21
申請公布號(hào) CN209016042U 申請公布日 2019-06-21
分類號(hào) H01L21/687（2006.01）I; H01L21/68（2006.01）I; H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邱鴻毅; 施心星; 張文; 李斌 申請（專利權(quán)）人 蘇州鐳明激光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州唯亞智冠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蘇州鐳明激光科技有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城西北區(qū)04幢102、202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種非接觸式高度補(bǔ)償裝置，包括有銜接定位支架，銜接定位支架上安裝有Z軸引導(dǎo)組件，Z軸引導(dǎo)組件上設(shè)置有多軸調(diào)節(jié)裝置，多軸調(diào)節(jié)裝置上安裝有加工平臺(tái)，加工平臺(tái)上安裝有傳感器，傳感器上設(shè)置有數(shù)據(jù)處理裝置，銜接定位支架上安裝有Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，Z軸驅(qū)動(dòng)裝置的工作端與多軸調(diào)節(jié)裝置相連，多軸調(diào)節(jié)裝置為XY軸雙向驅(qū)動(dòng)裝置，包括有X軸導(dǎo)軌，X軸導(dǎo)軌上安裝有X軸滑塊，X軸滑塊上連接有X軸驅(qū)動(dòng)裝置，X軸滑塊上安裝有Y軸導(dǎo)軌，加工平臺(tái)的底部與Y軸導(dǎo)軌相連，加工平臺(tái)上連接有Y軸驅(qū)動(dòng)裝置。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)三軸的高精度調(diào)節(jié)，無需人工進(jìn)行檢測干預(yù)。