應(yīng)用于LOW-K開槽設(shè)備的三軸聯(lián)動精密平臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822198994.9 申請日 -
公開（公告）號 CN209169121U 公開（公告）日 2019-07-26
申請公布號 CN209169121U 申請公布日 2019-07-26
分類號 H01L21/683（2006.01）I; H01L21/687（2006.01）I; H01L21/68（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邱鴻毅; 施心星; 李斌 申請（專利權(quán)）人 蘇州鐳明激光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州唯亞智冠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蘇州鐳明激光科技有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)04幢102、202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于LOW?K開槽設(shè)備的三軸聯(lián)動精密平臺，包括有限位底座，限位底座通過主連接板連接Y軸運(yùn)動裝置，Y軸運(yùn)動裝置通過副連接板連接X軸運(yùn)動裝置，X軸運(yùn)動裝置通過鋁板底座安裝有旋轉(zhuǎn)θ軸運(yùn)動裝置。由此，采用大理石底座，吸震性能良好，對加工中的應(yīng)力變形較小，保證了導(dǎo)軌安裝的平面度要求。運(yùn)轉(zhuǎn)的定位精度高，誤差在1UM內(nèi)?？梢詫?shí)現(xiàn)X、Y、θ三軸的運(yùn)轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，滿足多角度、多空間的加工需要。整體構(gòu)造簡單，易于裝配與維護(hù)，能夠與目前常見的各類加工平臺相匹配使用。