多光束快速蝕刻大幅面導(dǎo)電薄膜的激光加工裝置及其方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110599991.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113146060A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN113146060A 申請(qǐng)公布日 2021-07-23
分類(lèi)號(hào) B23K26/362（2014.01）I;B23K26/08（2014.01）I;B23K26/067（2006.01）I;B23K26/0622（2014.01）I;B23K26/03（2006.01）I;B23K26/064（2014.01）I 分類(lèi) 機(jī)床；不包含在其他類(lèi)目中的金屬加工;
發(fā)明人 趙裕興;劉彬 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 蘇州德龍激光股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇圣典律師事務(wù)所 代理人 王玉國(guó)
地址 215021江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)杏林街98號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及多光束快速蝕刻大幅面導(dǎo)電薄膜的激光加工裝置及方法，包括間隔并列平行設(shè)置的多個(gè)光束系統(tǒng)，每一光束系統(tǒng)沿光路方向依次包含：激光器，產(chǎn)生激光脈沖；擴(kuò)束鏡，用于光束擴(kuò)大和濾波；上反射鏡，用于改變光束方向；下反射鏡，用于改變光束方向；振鏡掃描系統(tǒng)，用于控制光束偏轉(zhuǎn)；聚焦場(chǎng)鏡，用于光束聚焦；每一光束系統(tǒng)的激光器、擴(kuò)束鏡和上反射鏡均安裝于光學(xué)平臺(tái)架上，每一光束系統(tǒng)的下反射鏡、振鏡掃描系統(tǒng)和聚焦場(chǎng)鏡安裝于Z軸運(yùn)動(dòng)單元上，Z軸運(yùn)動(dòng)單元連接于光學(xué)平臺(tái)架上；聚焦場(chǎng)鏡下方設(shè)有Y軸運(yùn)動(dòng)單元，吸附平臺(tái)置于Y軸運(yùn)動(dòng)單元上。根據(jù)需求自由選擇光束數(shù)量，固定式拼接方式，效率、精度和穩(wěn)定性較優(yōu)。