雙光束蝕刻大幅面導(dǎo)電薄膜的激光加工裝置及其方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110600021.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113146061A 公開（公告）日 2021-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN113146061A 申請(qǐng)公布日 2021-07-23
分類號(hào) B23K26/362（2014.01）I;B23K26/03（2006.01）I;B23K26/06（2014.01）I;B23K26/0622（2014.01）I;B23K26/064（2014.01）I;B23K26/082（2014.01）I;B23K26/142（2014.01）I 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 趙裕興;劉彬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州德龍激光股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇圣典律師事務(wù)所 代理人 王玉國(guó)
地址 215021江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)杏林街98號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及雙光束蝕刻大幅面導(dǎo)電薄膜的激光加工裝置及方法，包括間隔并列平行設(shè)置的第一光束系統(tǒng)和第二光束系統(tǒng)，光束系統(tǒng)沿光路傳輸方向均依次包含：激光器，產(chǎn)生激光脈沖；擴(kuò)束鏡，用于光束擴(kuò)大和濾波；上反射鏡，用于改變光束方向；下反射鏡，用于改變光束方向；振鏡掃描系統(tǒng)，用于控制光束偏轉(zhuǎn)；聚焦場(chǎng)鏡，用于光束聚焦；激光器、擴(kuò)束鏡和上反射鏡均安裝于X軸運(yùn)動(dòng)單元上，下反射鏡、振鏡掃描系統(tǒng)和聚焦場(chǎng)鏡安裝于Z軸運(yùn)動(dòng)單元上，Z軸運(yùn)動(dòng)單元連接于X軸運(yùn)動(dòng)單元上；聚焦場(chǎng)鏡正對(duì)于吸附平臺(tái)上的加工工件導(dǎo)電薄膜，吸附平臺(tái)置于Y軸運(yùn)動(dòng)單元上。實(shí)現(xiàn)雙光束、高精度、高速度的掃描，高效率刻蝕同時(shí)保證加工的精度。