鍍膜脆性材料的激光加工裝置及其方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110608629.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113146072A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN113146072A 申請(qǐng)公布日 2021-07-23
分類(lèi)號(hào) B23K26/38（2014.01）I;B23K26/064（2014.01）I;B23K26/06（2014.01）I;B23K26/067（2006.01）I 分類(lèi) 機(jī)床；不包含在其他類(lèi)目中的金屬加工;
發(fā)明人 趙裕興;田超 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 蘇州德龍激光股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇圣典律師事務(wù)所 代理人 王玉國(guó)
地址 215021江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)杏林街98號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及鍍膜脆性材料的激光加工裝置及方法，激光器的輸出光路上依次布置有半波片和分光立方體；分光立方體的原方向出射的P光光路布置有第一反射鏡、聚焦鏡、第一衍射鏡、第二反射鏡，第二反射鏡的反射光路與偏振分光合束鏡相對(duì)；分光立方體的垂直方向出射的S光光路布置有第二衍射鏡，第二衍射鏡的輸出光路與偏振分光合束鏡相對(duì)；偏振分光合束鏡的輸出光路布置有物鏡，物鏡正對(duì)于加工平臺(tái)。從偏振分光合束鏡出射的P光實(shí)現(xiàn)成絲切割，從偏振分光合束鏡出射的S光實(shí)現(xiàn)環(huán)形光斑刻蝕；通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)半波片可以調(diào)節(jié)P光和S光的比例，調(diào)節(jié)刻蝕和成絲切割所需的激光能量；同時(shí)進(jìn)行環(huán)形光斑刻蝕和成絲切割加工，為鍍膜后的脆性材料切割提供集成解決方法。