激光掃描顯微測(cè)量裝置及其方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110599094.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113189757A 公開（公告）日 2021-07-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN113189757A 申請(qǐng)公布日 2021-07-30
分類號(hào) G02B21/00（2006.01）I;G02B21/06（2006.01）I;G02B21/36（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 趙裕興;王承偉;徐海賓 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州德龍激光股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇圣典律師事務(wù)所 代理人 王玉國(guó)
地址 215021江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)杏林街98號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及激光掃描顯微測(cè)量裝置及方法，激光器的輸出光路上布置半反半透鏡，半反半透鏡的反射光路上依次布置振鏡和掃描物鏡，透射光路上布置檢測(cè)模組；激光器發(fā)出激光，經(jīng)半反半透鏡入射到振鏡中，振鏡控制激光二維偏轉(zhuǎn)，經(jīng)掃描物鏡后，聚焦于三維位移臺(tái)上的樣品上，激光入射到樣品后發(fā)生反射，返回掃描物鏡和振鏡，再經(jīng)半反半透鏡后進(jìn)入檢測(cè)模組；檢測(cè)模組獲取不同X?Y?Z坐標(biāo)下的圖像，以單個(gè)或多個(gè)CCD元件作為虛擬針孔，獲取每幅圖像中光強(qiáng)最大的虛擬針孔區(qū)域的光強(qiáng)，獲得不同X?Y?Z坐標(biāo)下的光強(qiáng)值，得到任意X?Y坐標(biāo)下最大光強(qiáng)對(duì)應(yīng)的Z坐標(biāo)，即得到X?Y平面的深度分布，測(cè)量出劃痕、粗糙度的表面形貌信息。