一種二極管用玻璃鈍化工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811441797.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109616411A 公開(kāi)（公告）日 2019-04-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN109616411A 申請(qǐng)公布日 2019-04-12
分類(lèi)號(hào) H01L21/306;H01L21/56;H01L21/67 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳強(qiáng)德 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 嘉興實(shí)新企業(yè)服務(wù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 314001 浙江省嘉興市南湖區(qū)耀城廣場(chǎng)11、12幢11-301室-137
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種二極管用玻璃鈍化工藝，以玻璃為鈍化材料，包括晶圓涂附，晶圓切割，晶粒酸洗，配制玻璃漿用溶劑，配制玻璃漿，晶粒接點(diǎn)面鈍化，本發(fā)明有益效果在于，利用低溫緩慢酸洗腐蝕來(lái)保證切割面的正角，常規(guī)的開(kāi)溝腐蝕會(huì)造成切割面的負(fù)角及一定角度的傾斜坡度，無(wú)法完成鈍化玻璃的包封，即使包封成功，良品率及可靠性能都會(huì)很低。