一種噴頭清洗方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201710295117.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN107267956B | 公開（公告）日 | 2019-12-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN107267956B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-12-06 |
| 分類號(hào) | C23C16/44（2006.01）; C23C16/18（2006.01） | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 楊蘭; 趙陽; 王國行; 萬林; 胡加輝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 華燦光電股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京三高永信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 徐立 |
| 地址 | 430223 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)濱湖路8號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種噴頭清洗方法，屬于金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉淀技術(shù)領(lǐng)域。所述噴頭清洗方法包括：配置清洗溶液，所述清洗溶液為NaOH溶液與H2O2的混合溶液；將所述噴頭浸泡在所述清洗溶液內(nèi)進(jìn)行超聲清洗；采用清水對(duì)所述噴頭進(jìn)行超聲沖洗；采用N2或惰性氣體吹掃所述噴頭，然后再對(duì)所述噴頭進(jìn)行烘干。該清洗方法不會(huì)腐蝕噴頭，而且能有效的清洗噴頭，并可在短時(shí)間內(nèi)恢復(fù)到量產(chǎn)的水平，有效降低了恢復(fù)量產(chǎn)的時(shí)間成本。 |
