頂噴蝕刻機卡匣推進機構裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820495936.X 申請日 -
公開（公告）號 CN208014661U 公開（公告）日 2018-10-26
申請公布號 CN208014661U 申請公布日 2018-10-26
分類號 H01L21/67;H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曹乾;蒲中軍;徐曉君;王川;吳華毅;宣繼;李政昊;鐘耀 申請（專利權）人 成都工投電子設備有限公司
代理機構 北京天奇智新知識產權代理有限公司 代理人 楊春
地址 610512 四川省成都市新都區(qū)新都鎮(zhèn)白云路789號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了頂噴蝕刻機卡匣推進機構裝置，推進機構安裝在清洗區(qū)，卡匣安裝于蝕刻區(qū)且與噴嘴產生的酸霧接觸，避免推進機構和蝕刻區(qū)噴嘴產生的酸霧接觸，增加推進機構的使用壽命；推桿的另一端與卡匣的一端中部連接，使推進機構的受力位置均勻，延長推進機構的使用壽命；使用本裝置后推進機構的使用壽命比單側推進的使用壽命、抗腐蝕性增加3倍，比兩側推進機構制作成本減少了1倍。