一種鏈式PECVD鍍膜工藝穩(wěn)定性的檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110714182.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113539871A 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN113539871A 申請公布日 2021-10-22
分類號 H01L21/66 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王紅芳;徐卓;趙學玲;潘明翠;陳志軍;田思;李鋒;史金超;李倩 申請（專利權）人 英利能源發(fā)展有限公司
代理機構(gòu) 石家莊國為知識產(chǎn)權事務所 代理人 張沙沙
地址 071051 河北省保定市朝陽北大街3399號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種鏈式PECVD鍍膜工藝穩(wěn)定性的檢測方法，該檢測方法包括如下步驟：采取相同鍍膜工藝下不同時間點完成的鍍膜硅片，燒結(jié)得半成品；分別對半成品進行PL和隱性開路電壓測試，或PL和飽和電流密度測試，或PL和隱性開路電壓、飽和電流密度測試；根據(jù)測試結(jié)果評估不同時間點所述鏈式PECVD鍍膜工藝的穩(wěn)定性；其中，不同時間點的鍍膜硅片前端各工序工藝保持一致；不同時間點中至少一個時間點選自整個鍍膜工藝周期的0?3/5時間段內(nèi)；各半成品進行PL、隱性開路電壓、飽和電流密度測試的條件保持一致。該檢測方法通過對半成品進行測試，能夠方便、快捷、直觀地體現(xiàn)鏈式PECVD鍍膜工藝穩(wěn)定性，節(jié)約生產(chǎn)成本。