一種鈣鈦礦氣氛處理裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910151835.X 申請日 -
公開（公告）號 CN109950409A 公開（公告）日 2019-06-28
申請公布號 CN109950409A 申請公布日 2019-06-28
分類號 H01L51/48（2006.01）I; H01L51/42（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王堉; 陳樂伍; 賴其聰; 周航 申請（專利權(quán)）人 深圳市先進清潔電力技術(shù)研究有限公司
代理機構(gòu) 北京卓嵐智財知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 深圳市先進清潔電力技術(shù)研究有限公司
地址 518100 廣東省深圳市龍崗區(qū)雅寶路1號星河WORLD一期A棟28層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種鈣鈦礦氣氛處理裝置，包括處理腔室、密封蓋，閥門、真空泵、氣體發(fā)生器和控制器部分；所述閥門與處理腔體連通然后連接真空泵，或者處理氣體，處理腔體有配套密封蓋，保證密封同時便于放取樣品，通過抽真空然后充入處理氣體的方式實現(xiàn)均勻處理，配合電控系統(tǒng)能實現(xiàn)精確控制，有利于得到均勻高質(zhì)量的鈣鈦礦薄膜，同時提高重復(fù)性和良率。