一種用于化學(xué)機(jī)械拋光的修整裝置及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202221174011.8 申請日 -
公開（公告）號 CN216940138U 公開（公告）日 2022-07-12
申請公布號 CN216940138U 申請公布日 2022-07-12
分類號 B24B53/017（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I;B24B49/10（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王春龍;許振杰;陳映松;路新春;王同慶;趙德文 申請（專利權(quán)）人 華海清科股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 300350天津市津南區(qū)咸水沽鎮(zhèn)聚興道11號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于化學(xué)機(jī)械拋光的修整裝置及系統(tǒng)，所述修整裝置包括固定座、擺臂和修整器，所述修整器設(shè)置于擺臂的端部并繞固定座擺動；所述修整器包括修整頭和檢測組件，所述修整頭用于修整拋光墊，所述檢測組件與修整頭在水平方向相鄰設(shè)置以檢測拋光墊的形貌。