用于半導體電路的設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110770340.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113399358A 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN113399358A 申請公布日 2021-09-17
分類號 B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 王敏;左安超;謝榮才 申請（專利權）人 廣東匯芯半導體有限公司
代理機構(gòu) 深圳市華勤知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 隆毅
地址 528000廣東省佛山市南海區(qū)丹灶鎮(zhèn)仙湖度假區(qū)養(yǎng)生路10號之一（住所申報）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種用于半導體電路的設備，該用于半導體電路的設備包括水洗裝置、溶劑清洗裝置和機械手，所述水洗裝置包括水洗槽和若干噴頭，所述水洗槽內(nèi)的半導體電路經(jīng)水洗后通過所述機械手搬運至所述溶劑清洗裝置內(nèi)進行溶劑清洗。本發(fā)明所提出的用于半導體電路的設備，在對半導體電路進行溶劑清洗前，先通過機械手將其搬運至水洗槽內(nèi)，由噴頭對半導體電路進行噴淋清洗，水洗時半導體電路表面的各種雜質(zhì)顆粒以及水溶性極性離子會被有效清除，而后再對水洗后的半導體電路進行溶劑清洗，由于半導體電路表面的主要污染物基本被清除，因此可以大幅減少清洗劑的使用量，節(jié)省成本并減輕對環(huán)境的污染。