一種使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022411646.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213574607U 公開（公告）日 2021-06-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN213574607U 申請(qǐng)公布日 2021-06-29
分類號(hào) F04C23/00（2006.01）I;F04C25/02（2006.01）I;F04C29/00（2006.01）I;F04C29/12（2006.01）I;F04C28/02（2006.01）I;F04C28/24（2006.01）I;F04C28/26（2006.01）I 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 榮易 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇格里克真空技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京酷愛智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鐘繼蓮
地址 226000江蘇省南通市如皋市下原鎮(zhèn)桃李路25號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種使用羅茨真空泵的串并聯(lián)模塊式真空系統(tǒng)，包括一二級(jí)羅茨真空泵組、旁通管路、第四級(jí)羅茨真空泵、并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥、第一三通切換閥和第五級(jí)真空泵；一二級(jí)羅茨真空泵組和旁通管路并聯(lián)，其進(jìn)氣口與主管道連接，出氣口分別于第四級(jí)羅茨真空泵和并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥連接，旁通管路上安裝有旁通調(diào)節(jié)閥；第一三通切換閥的第一端口與第四級(jí)羅茨真空泵的排氣口連接，第一三通切換閥的第二端口和并聯(lián)旁通氣動(dòng)閥的出氣口均與第五級(jí)真空泵的進(jìn)氣口連接，第一三通切換閥的第三端口與第五級(jí)真空泵的排氣口均與排氣管連接；本申請(qǐng)不僅減少前級(jí)泵的數(shù)量，又降低羅茨真空泵的高功率電機(jī)的數(shù)量，實(shí)現(xiàn)了初期抽氣能力大，高真空時(shí)真空度高的特點(diǎn)。