一種直排串聯(lián)真空泵組

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010248420.7 申請日 -
公開（公告）號 CN111255690B 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN111255690B 申請公布日 2021-09-03
分類號 F04C23/02;F04C25/02;F04C18/12;F04C29/12 分類 液體變?nèi)菔綑C械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 榮易 申請（專利權(quán)）人 江蘇格里克真空技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京酷愛智慧知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉娟
地址 226000 江蘇省南通市如皋市下原鎮(zhèn)桃李路25號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種直排串聯(lián)真空泵組，包括三軸模塊化干式真空泵、真空泵驅(qū)動電機、前級真空泵裝置、三通管道和彈簧式單向閥，所述真空泵驅(qū)動電機與三軸模塊化干式真空泵的中泵軸傳動連接，所述三通管道三個端口中的一個端口處設(shè)置有彈簧式單向閥，三通管道的另外兩個端口分別與三軸模塊化干式真空泵的排氣口和前級真空泵裝置的進氣口連通，所述前級真空泵裝置的進氣口處設(shè)有閥門；通過使用本裝置，使用一個極小的液環(huán)真空泵或者油式旋片真空泵就可以在0?100kpa時都能夠滿足最大的抽氣能力，不受環(huán)境影響，可以達到很高的真空度(0.01?0.1Pa)，同時在任何階段可以滿足最經(jīng)濟的能耗需求。