基于互聯(lián)網(wǎng)方式的設(shè)備遠(yuǎn)程預(yù)測性維護(hù)系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110763510.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113469383A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113469383A 申請公布日 2021-10-01
分類號 G06Q10/00（2012.01）I;G06Q10/04（2012.01）I;G06Q50/04（2012.01）I;G07C3/00（2006.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 劉耀宏;楊少封;孫宇彤;郝相如 申請（專利權(quán)）人 山西大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京奧文知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張文
地址 030031山西省太原市小店區(qū)長治路354號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于互聯(lián)網(wǎng)方式的設(shè)備遠(yuǎn)程預(yù)測性維護(hù)系統(tǒng)及方法。該系統(tǒng)包括：數(shù)據(jù)采集模塊、數(shù)據(jù)庫管理模塊和預(yù)測維護(hù)模塊；數(shù)據(jù)采集模塊與微電子制造裝備連接，用于實時采集微電子制造裝備的運(yùn)行狀態(tài)信息；數(shù)據(jù)庫管理模塊與數(shù)據(jù)采集模塊連接，用于接收和存儲運(yùn)行狀態(tài)信息；預(yù)測維護(hù)模塊與數(shù)據(jù)庫管理模塊連接，用于提取數(shù)據(jù)庫管理模塊存儲的運(yùn)行狀態(tài)信息，并根據(jù)提取的運(yùn)行狀態(tài)信息進(jìn)行微電子制造裝備的狀態(tài)趨勢預(yù)測、剩余壽命預(yù)測和維護(hù)方案確定。本發(fā)明的基于互聯(lián)網(wǎng)方式的設(shè)備遠(yuǎn)程預(yù)測性維護(hù)系統(tǒng)及方法能實現(xiàn)微電子制造裝備的預(yù)測性維護(hù)分析，預(yù)先識別故障的早期征兆，避免突發(fā)故障，提高微電子制造裝備的安全性和可靠性，減少維修保養(yǎng)成本。