一種新型熱陰極電弧裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920133064.3 申請日 -
公開（公告）號 CN201427990Y 公開（公告）日 2010-03-24
申請公布號 CN201427990Y 申請公布日 2010-03-24
分類號 C23C14/22(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王宇;王強 申請（專利權(quán)）人 深圳市振恒昌實業(yè)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)同樂村丁甲嶺工業(yè)區(qū)9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種新型熱陰極電弧裝置，包括：引弧裝置、水冷裝置、靶材、固定靶材的靶材固定裝置、磁場裝置、磁場裝置外圍的屏蔽罩，其特征是：所述引弧裝置包括微型汽缸、固定微型汽缸的汽缸固定絕緣板、一端連接汽缸桿和定位塊，另一端固定引弧針的引弧桿、固定引弧桿的固定座，及連接汽缸固定絕緣板和固定座的支撐桿；所述靶材固定裝置包括外座體，置于外座體內(nèi)部的內(nèi)座體，置于內(nèi)座體與外座體之間的外表面上的水咀座和連接座。采用氣動引弧，力量大，速度快，故障率低；采用間接水冷，水冷效果好；更換靶材方便外屏蔽罩采用尼龍材質(zhì)，使得裝置結(jié)構(gòu)簡化，成本大幅度降低。