帶有外部氣體通道插入件的工件處理裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111587556.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114695056A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114695056A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 龍茂林;W·曾 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京易光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)經(jīng)海二路28號(hào)8幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公開(kāi)提供了一種用于將氣體注入處理腔室的氣體注入組件。在一些示例中，氣體注入組件可以包括用于接收氣流的入口。氣體注入組件可以包括用于分配自入口接收的氣流的多個(gè)氣體進(jìn)料口。氣體注入組件可以包括豎直布置在氣體注入組件內(nèi)側(cè)的多個(gè)子通道，多個(gè)子通道包括：上部子通道，用于接收來(lái)自入口的氣流，并將氣流細(xì)分至一組孔口，以形成第一氣流分支和第二氣流分支，第一氣流分支對(duì)應(yīng)于通過(guò)一組孔口的第一子組的氣流的第一部分，并且第二氣流分支對(duì)應(yīng)于通過(guò)一組孔口的第二子組的氣流的第二部分；以及多個(gè)出口子通道，用于將氣流細(xì)分至多個(gè)氣體進(jìn)料口。 |
