末端執(zhí)行器和用于處理工件的系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210475606.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114743854A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114743854A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-12 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01J37/32（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 馬丁·L·朱克;P·J·倫貝西斯;T·特維斯;瑞安·帕庫(kù)爾斯基;馬紹銘;楊曉晅 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京易光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 美國(guó)加利福尼亞州 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 提供了一種用于在處理工件的系統(tǒng)內(nèi)移動(dòng)工件和可更換部件的末端執(zhí)行器，末端執(zhí)行器沿著軸向在近端和遠(yuǎn)端之間延伸。該末端執(zhí)行器包括：臂部分，沿著軸向在第一臂端與第二臂端之間延伸，第一臂端位于末端執(zhí)行器的近端；刮刀部分，沿著軸向在第一刮刀端和第二刮刀端之間延伸，第一刮刀端與第二臂端相鄰，且第二刮刀端位于末端執(zhí)行器的遠(yuǎn)端；第一支撐構(gòu)件，從刮刀部分的上表面向外延伸；第二支撐構(gòu)件，從刮刀部分的上表面向外延伸；和，共用的支撐構(gòu)件，從臂部分的上表面向外延伸，其中，共用的支撐構(gòu)件和第一支撐構(gòu)件一起被配置為支撐第一直徑的工件，共用的支撐構(gòu)件和第二支撐構(gòu)件一起被配置為支撐第二直徑的可更換部件。 |
