化學(xué)機(jī)械拋光保持環(huán)及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010310315.1 申請日 -
公開（公告）號 CN111496669A 公開（公告）日 2020-08-07
申請公布號 CN111496669A 申請公布日 2020-08-07
分類號 B24B37/32;H01L21/304 分類 -
發(fā)明人 相紅旗;姚力軍;潘杰;施建國 申請（專利權(quán)）人 寧波贏偉泰科新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳仕超
地址 315400 浙江省寧波市余姚市三七市鎮(zhèn)云山中路28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及化學(xué)機(jī)械保持環(huán)的技術(shù)領(lǐng)域，具體是化學(xué)機(jī)械拋光保持環(huán)及其制造方法，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中在金屬環(huán)的結(jié)合面上開溝槽，由于金屬環(huán)和塑料環(huán)使用的材料本身不同，熱收縮膨脹系數(shù)不同，注塑該保持環(huán)時，塑料環(huán)與金屬環(huán)之間會殘留縫隙的問題。本發(fā)明包括金屬環(huán)和塑料環(huán)，所述金屬環(huán)包括安裝面和結(jié)合面，所述結(jié)合面的邊緣設(shè)有向外突出的外緣，所述塑料環(huán)與金屬環(huán)通過注塑連接。本發(fā)明中對金屬環(huán)注塑的時候，在外緣處會形成包持結(jié)構(gòu)，額外的包持結(jié)構(gòu)使得金屬環(huán)與塑料環(huán)緊密地結(jié)合在一起，可以耐受溫度變化帶來的熱收縮的影響和機(jī)械加工中受力的影響，從而可以極大的減小在金屬環(huán)和塑料環(huán)結(jié)合部產(chǎn)生的縫隙。