溝槽式化學機械拋光保持環(huán)及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010314529.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111496670A 公開（公告）日 2020-08-07
申請公布號 CN111496670A 申請公布日 2020-08-07
分類號 B24B37/32;B29C45/14 分類 -
發(fā)明人 相紅旗;姚力軍;潘杰 申請（專利權）人 寧波贏偉泰科新材料有限公司
代理機構 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 代理人 陳仕超
地址 315400 浙江省寧波市余姚市三七市鎮(zhèn)云山中路28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及化學機械保持環(huán)的技術領域，具體是溝槽式化學機械拋光保持環(huán)及其制造方法，用于解決現(xiàn)有技術中金屬環(huán)和塑料環(huán)通過粘合劑粘接在一起，從而導致了粘合劑可能外溢，粘合劑破碎后掉落出渣狀顆粒，以及使金屬環(huán)和保持環(huán)連接強度比較弱的問題。本發(fā)明包括金屬環(huán)和塑料環(huán)，所述金屬環(huán)包括安裝面和結合面，所述結合面上開有溝槽，所述塑料環(huán)上設有通過注塑與溝槽卡接的凸緣。本發(fā)明中在注塑的過程中塑料環(huán)的凸緣直接與溝槽形成一體，從而可以極大的提高金屬環(huán)和塑料環(huán)間的結合強度；金屬環(huán)和塑料環(huán)間不需要通過粘合劑粘接在一起，不會存在粘合劑可能外溢和粘合劑破碎后掉落出渣狀顆粒的問題。