一種差動電容式微機械加速度計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200710179596.6 申請日 -
公開（公告）號 CN101187674A 公開（公告）日 2008-05-28
申請公布號 CN101187674A 申請公布日 2008-05-28
分類號 G01P15/125(2006.01) 分類 測量；測試;
發(fā)明人 高宏;丁煒;畢國楦;胡向陽;董景新;張嶸 申請（專利權）人 北京通智信達科技有限公司
代理機構 北京清亦華知識產權代理事務所 代理人 紫光通訊科技有限公司
地址 100084北京市海淀區(qū)清華大學紫光大樓503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種差動電容式微機械加速度計，屬于微機電系統(tǒng)(MEMS)中的慣性傳感器領域，本速度計包括由硅片、絕緣層和可動電極組成的敏感質量元件、固定電極、基片、折疊梁；可動電極以柵狀等間距分布在硅片上，絕緣層將各個可動電極在空間上隔離開；折疊梁構造在敏感質量元件兩端，并通過立柱固定于基片上，使整個可動電極平面相對基片平面懸空平行；該固定電極等間距布置在基片上，固定電極與可動電極交錯配置，形成一組差動電容。本發(fā)明增大了質量塊的敏感質量，從而大幅度提高靈敏度和分辨率。本發(fā)明結構簡單，并使用集成電路平面制造工藝加工可動電極和固定電極，成本低廉、加工工藝簡單，可重復性強、成品率高、易于批量生產。