載帶芯片臟污識別清洗設(shè)備及清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111322950.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113770124B 公開（公告）日 2022-02-18
申請公布號 CN113770124B 申請公布日 2022-02-18
分類號 B08B7/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 袁超;張宗杰;程世翀 申請（專利權(quán)）人 新恒匯電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島發(fā)思特專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 劉濤
地址 255086山東省淄博市高新區(qū)中潤大道187號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及載帶芯片臟污識別清理技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種載帶芯片臟污識別清洗設(shè)備及清洗方法。該載帶芯片臟污識別清洗設(shè)備包括放料系統(tǒng)及收料系統(tǒng)，放料系統(tǒng)與收料系統(tǒng)之間設(shè)置清理通道，清理通道上方設(shè)置有清潔系統(tǒng)，清潔系統(tǒng)靠近放料系統(tǒng)的一側(cè)設(shè)置有檢測系統(tǒng)；清潔系統(tǒng)包括等離子表面處理機(jī)，等離子表面處理機(jī)連接有朝向清理通道設(shè)置的等離子槍頭；放料系統(tǒng)、收料系統(tǒng)、清潔系統(tǒng)及檢測系統(tǒng)均連接控制系統(tǒng)。提供一種對載帶芯片表面進(jìn)行清洗，提高產(chǎn)品合格率的載帶芯片臟污識別清洗設(shè)備。