一種高精度晶圓分選機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110965982.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113649297A 公開(kāi)（公告）日 2021-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113649297A 申請(qǐng)公布日 2021-11-16
分類(lèi)號(hào) B07C5/02（2006.01）I;B07C5/34（2006.01）I;B07C5/36（2006.01）I;B07C5/38（2006.01）I 分類(lèi) 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 盧國(guó)強(qiáng) 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 深圳市優(yōu)界科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京維正專(zhuān)利代理有限公司 代理人 黃勇
地址 518000廣東省深圳市龍華區(qū)觀瀾街道君子布社區(qū)凌屋工業(yè)路9號(hào)廠房201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種高精度晶圓分選機(jī)，涉及晶圓分選機(jī)的技術(shù)領(lǐng)域，包括箱體，箱體中設(shè)置有放置臺(tái)，放置臺(tái)上設(shè)置有分選機(jī)構(gòu)，分選機(jī)構(gòu)包括吸附機(jī)構(gòu)，放置臺(tái)上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)座，吸附機(jī)構(gòu)設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)座上，放置臺(tái)上設(shè)置有平移機(jī)構(gòu)，平移機(jī)構(gòu)上設(shè)置有分選卡匣，平移機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)分選卡匣平移，分選卡匣用于安裝晶圓，分選機(jī)構(gòu)用于分選設(shè)置在分選卡匣上的晶圓。本申請(qǐng)具有提升分選機(jī)構(gòu)選取晶圓環(huán)上晶粒的精度的效果。