一種可擴(kuò)容晶圓分選機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110965977.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113649296A 公開（公告）日 2021-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113649296A 申請(qǐng)公布日 2021-11-16
分類號(hào) B07C5/02（2006.01）I;B07C5/34（2006.01）I;B07C5/36（2006.01）I;B07C5/38（2006.01）I 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 盧國(guó)強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市優(yōu)界科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 黃勇
地址 518000廣東省深圳市龍華區(qū)觀瀾街道君子布社區(qū)凌屋工業(yè)路9號(hào)廠房201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種可擴(kuò)容晶圓分選機(jī)，涉及晶圓分選機(jī)的技術(shù)領(lǐng)域，包括箱體，箱體中設(shè)置有放置臺(tái)，放置臺(tái)上設(shè)置有用于分選晶粒的分選機(jī)構(gòu)，放置臺(tái)上設(shè)置有用于夾持和移動(dòng)晶圓的夾持機(jī)構(gòu)，放置臺(tái)上設(shè)置有安裝臺(tái)，安裝臺(tái)上設(shè)置有多個(gè)已分類空/滿盤料匣和若干未分類片料匣，安裝臺(tái)上設(shè)置有多個(gè)限位板，限位板長(zhǎng)度方向互相平行，已分類空/滿盤料匣設(shè)置在限位板之間。本申請(qǐng)具有減少已分類空/滿盤料匣在箱體內(nèi)位置偏移的幾率的效果。