一種晶圓自動分選機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111158975.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113751368A 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號 CN113751368A 申請公布日 2021-12-07
分類號 B07C5/342（2006.01）I 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 盧國強 申請（專利權(quán)）人 深圳市優(yōu)界科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市查策知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曾令安
地址 518000廣東省深圳市龍華區(qū)觀瀾街道君子布社區(qū)凌屋工業(yè)路9號廠房201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種晶圓自動分選機，屬于晶圓生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括底箱、光學(xué)檢測機、晶圓支撐板、晶圓盛放部、第一驅(qū)動部、第二驅(qū)動部、抽吸部以及轉(zhuǎn)盤，所述晶圓支撐板活動安裝在所述轉(zhuǎn)盤側(cè)壁，所述第一驅(qū)動部安裝在所述底箱內(nèi)部，第一驅(qū)動部輸出端與所述轉(zhuǎn)盤相連，用于帶動所述轉(zhuǎn)盤間歇轉(zhuǎn)動，所述晶圓盛放部設(shè)置在所述底箱一側(cè)，用于對待檢測的晶圓進(jìn)行盛放，所述第二驅(qū)動部以及所述抽吸部均安裝在所述轉(zhuǎn)盤一側(cè)。本發(fā)明實施例相較于現(xiàn)有技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)待檢測晶圓的自動上料，從而提高了晶圓的安裝精度以及檢測效率，極大程度的降低了晶圓的檢測成本。