一種IGBT鍵合機DBC吸附固定裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022258514.0 申請日 -
公開（公告）號 CN212810263U 公開（公告）日 2021-03-26
申請公布號 CN212810263U 申請公布日 2021-03-26
分類號 H01L21/683(2006.01)I;H01L29/739(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王凱鋒;袁磊;邱道權(quán) 申請（專利權(quán)）人 合肥中恒微半導體有限公司
代理機構(gòu) 合肥律眾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙娟
地址 230000安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道與明珠大道交叉口106號5號樓2層C區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種IGBT鍵合機DBC吸附固定裝置，包括兩塊固定板、DBC料板以及安置于DBC料板上的多塊DBC基板，兩塊所述固定板之間水平設(shè)置有可豎直升降活動的DBC定位板，所述DBC定位板的下方相對平行設(shè)置有可豎直升降活動的吸盤組件，所述DBC料板活動設(shè)置于DBC定位板和吸盤組件之間的平面上；所述吸盤組件是由底板上表面設(shè)置有與DBC基板相對應(yīng)的多個吸附單元構(gòu)成，所述吸附單元通過氣孔與底板內(nèi)部的氣路連通，且氣路的出口通過支管和真空電磁閥外接真空抽吸設(shè)備，且真空電磁閥上設(shè)置有真空壓力表，所述真空壓力表與設(shè)備控制器電性連接。該裝置，可實現(xiàn)對于待鍵合加工的DBC基板進行快速準確的定位，定位效率高，自動化程度高，從而加快了生產(chǎn)效率。??