一種等離子體處理裝置及氣體供應(yīng)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010871863.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114121585A 公開（公告）日 2022-03-01
申請公布號 CN114121585A 申請公布日 2022-03-01
分類號 H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 魏強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海元好知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐雯瓊;章麗娟
地址 201201上海市浦東新區(qū)金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）泰華路188號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種等離子體處理裝置及氣體供應(yīng)方法，等離子體處理裝置包括反應(yīng)腔，反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)置基座，氣體供應(yīng)裝置向反應(yīng)腔內(nèi)輸送反應(yīng)氣體，氣體供應(yīng)裝置包含氣體總管道和多路氣體分流輸送管路，在多路氣體分流輸送管路上分別設(shè)置一流量控制閥，將多個(gè)流量控制閥的流量系數(shù)和電信號的對應(yīng)關(guān)系存儲到一控制器內(nèi)；設(shè)定多路氣體分流輸送管路的目標(biāo)氣體流量的比例關(guān)系，控制器根據(jù)多路氣體分流輸送管路的流量比例輸送對應(yīng)的電信號至流量控制閥，以調(diào)節(jié)每個(gè)流量控制閥的閥開度。本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)1分2路、1分3路甚至1分更多路，本發(fā)明在未設(shè)置流量反饋模塊時(shí)仍能準(zhǔn)確地分流，耗時(shí)很少，響應(yīng)速度快，控制結(jié)果基本不受各閥門差異的影響，實(shí)用性強(qiáng)。