一種晶圓擴散用石英管及其進氣連接結構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420769305.4 申請日 -
公開（公告）號 CN204281897U 公開（公告）日 2015-04-22
申請公布號 CN204281897U 申請公布日 2015-04-22
分類號 C30B31/10(2006.01)I;C30B31/16(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 汪良恩;張小明;安啟躍 申請（專利權）人 池州市九華恒昌產業(yè)投資有限公司
代理機構 北京集佳知識產權代理有限公司 代理人 安徽安芯電子科技有限公司;安徽安芯電子科技股份有限公司
地址 247100 安徽省池州市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)富安電子信息產業(yè)園10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓擴散用石英管，將石英管尾管端部燒制一段外徑較進氣管內徑略大的細管，具有以下優(yōu)點：1)取消爐管的球磨接頭，直接在管尾上燒制一段連接進氣管的小管，降低了石英管管尾加工難度，由傳統(tǒng)石英管的三個部件改變?yōu)橐粋€部件，石英管的制作成本大大降低。2)直接將進氣管連接在爐管上，徹底改善了傳統(tǒng)的晶圓擴散石英管由于夾具松動、球磨接口碎裂而導致反應氣體泄漏現(xiàn)象，使晶圓擴散工藝控制變得穩(wěn)定、可靠。本實用新型實施例還提供了一種應用上述石英管的進氣連接結構，可獲得密封性較好的連接效果。