一種光柵線位移傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010574909.X 申請日 -
公開(公告)號 CN102095378B 公開(公告)日 2013-07-03
申請公布號 CN102095378B 申請公布日 2013-07-03
分類號 G01B11/02(2006.01)I;G01D3/036(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 張吉鵬;孟輝;吳宏圣;曾琪峰;孫強 申請(專利權)人 長春光機數(shù)顯技術有限責任公司
代理機構 長春菁華專利商標代理事務所 代理人 張偉
地址 130033 吉林省長春市東南湖大路3888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種光柵線位移傳感器。一種光柵線位移傳感器,其包括標尺光柵、沿標尺光柵移動的滑架、設置在滑架上的光源、指示光柵和探測器,該光源發(fā)出的光線依次經過該標尺光柵及該指示光柵,形成特定的光信號,該探測器捕捉該光信號進行光電轉化,從而完成位移量到光電信號的轉換。該指示光柵上設置多個窗口,每一窗口內均刻劃有多條刻線形成的圖案,該每一刻線方向與該測量方向成一不為90°的夾角。該光柵線位移傳感器能提高光電信號質量。