一種傳感器及其制備方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910192144.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110031136B | 公開（公告）日 | 2019-07-19 |
| 申請公布號(hào) | CN110031136B | 申請公布日 | 2019-07-19 |
| 分類號(hào) | G01L1/22(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 張威;周浩楠 | 申請（專利權(quán)）人 | 北京智芯傳感科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京知元同創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 北京協(xié)同創(chuàng)新研究院;北京智芯傳感科技有限公司 |
| 地址 | 100094北京市海淀區(qū)蘇家坨鎮(zhèn)翠湖南環(huán)路13號(hào)院1號(hào)樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明實(shí)施例涉及一種力傳感器及其制備方法，所述力傳感器包括MEMS力傳感器芯片，所述芯片包括基底，基底的上表面具有凹槽，基底的上表面上設(shè)置有壓力敏感層；所述壓力敏感層包括邊框和壓力敏感梁；所述邊框部分地或完全地圍繞凹槽設(shè)置，所述壓力敏感梁設(shè)置于所述凹槽的上方，壓力敏感梁的各端部分別與壓力敏感層的邊框相連；所述壓力敏感層的上表面上設(shè)置有多個(gè)壓敏電阻，每個(gè)壓敏電阻的至少一部分位于所述壓力敏感梁上，所述多個(gè)壓敏電阻連接構(gòu)成惠斯通電橋。該傳感器能夠直接檢測外部壓力，無需媒介，擴(kuò)大了應(yīng)用場景。?? |
