檢測及清理光掩模的玻璃面及膜面上的微塵的裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010763336.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112051273A 公開（公告）日 2020-12-08
申請公布號 CN112051273A 申請公布日 2020-12-08
分類號 G01N21/94(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 金成昱;金帥炯;梁賢石;賀曉彬;楊濤;李俊峰;王文武 申請（專利權(quán)）人 真芯（北京）半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院微電子研究所;真芯（北京）半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
地址 100029北京市朝陽區(qū)北土城西路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種檢測及清理光掩模的玻璃面及膜面上的微塵的裝置及方法。所述裝置包括：裝載單元，裝載單元包括用于保持光掩模的保持部；檢測單元，檢測單元用于檢測光掩模上的微塵；清理單元，清理單元用于對檢測到的微塵進(jìn)行清理。在應(yīng)用微塵清理裝置時，可以將待測的光掩模裝載于裝載單元，裝載后的光掩模保持在保持部上，之后可以啟動檢測單元對光掩模上的微塵進(jìn)行檢測，待完成檢測后，可以通過清理單元對微塵進(jìn)行清理，從而去除光掩模上的微塵。利用本申請的微塵清理裝置能夠以連續(xù)的方式順次對光掩模實施微塵檢測和微塵清除的工作，使得微塵檢測和微塵清除兩項工作無縫銜接，由此，可以提高光掩模的微塵檢測及清理過程的整體效率。??