主動減震系統(tǒng)及具有其的掃描電子顯微鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011019851.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112228494A 公開（公告）日 2021-01-15
申請公布號 CN112228494A 申請公布日 2021-01-15
分類號 F16F15/00;F16F15/02;F16F15/027;F16F15/08;H01J37/28;H01J37/02 分類 工程元件或部件；為產生和保持機器或設備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 金炳喆;曲揚 申請（專利權）人 真芯（北京）半導體有限責任公司
代理機構 北京辰權知識產權代理有限公司 代理人 真芯（北京）半導體有限責任公司;中國科學院微電子研究所
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請屬于半導體量測技術領域，具體涉及一種主動減震系統(tǒng)及具有其的掃描電子顯微鏡，該主動減震系統(tǒng)包括緩沖組件、支撐臺、震動傳感器和施力裝置，支撐臺設置于設備內，且支撐臺與設備通過緩沖組件連接，設備承受的震動通過緩沖組件傳遞至支撐臺，施力裝置與支撐臺連接，震動傳感器設置于支撐臺上并與施力裝置電連接，震動傳感器將支撐臺接收到的震動轉化為震動信號并發(fā)送至施力裝置，施力裝置根據震動傳感器發(fā)送的震動信號向支撐臺施加反震動力。根據本申請的主動減震系統(tǒng)，通過震動傳感器和施力裝置配合，震動傳感器可以感受設備的微小震動，并通過施力裝置主動緩解設備的微小震動。