半導(dǎo)體器件的檢測方法、半導(dǎo)體器件及電子設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010270702.7 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113496908A 公開（公告）日 2021-10-12
申請公布號(hào) CN113496908A 申請公布日 2021-10-12
分類號(hào) H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李其衡;賀曉彬;楊濤;李俊峰;王文武 申請（專利權(quán)）人 真芯（北京）半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 付婧
地址 100029北京市朝陽區(qū)北土城西路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了一種半導(dǎo)體器件的檢測方法、半導(dǎo)體器件及電子設(shè)備，包括如下步驟：提供一個(gè)半導(dǎo)體器件組；根據(jù)檢查規(guī)則檢測所述半導(dǎo)體器件組，使得所述半導(dǎo)體器件組中的各個(gè)半導(dǎo)體器件的檢測步驟數(shù)量均一化。其中各個(gè)檢測步驟組中的某兩個(gè)或者多個(gè)檢測步驟，不會(huì)都測量同一個(gè)半導(dǎo)體器件組中的同一個(gè)半導(dǎo)體器件。這種情況下，檢測步驟組中的其他檢測步驟則被省略。對于每個(gè)檢測步驟，根據(jù)該檢測步驟的預(yù)設(shè)檢查概率，當(dāng)該檢測步驟被連續(xù)兩個(gè)以上的半導(dǎo)體器件排除時(shí)，在下一個(gè)半導(dǎo)體器件執(zhí)行該檢測步驟。本公開的優(yōu)點(diǎn)在于，使每個(gè)半導(dǎo)體器件組的測量次數(shù)均一化；使每個(gè)半導(dǎo)體器件組的整體工藝時(shí)間均一化。