用于晶圓翻轉(zhuǎn)的機械手及機器人

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010702501.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112060112A 公開（公告）日 2020-12-11
申請公布號 CN112060112A 申請公布日 2020-12-11
分類號 B25J15/00(2006.01)I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機械手;
發(fā)明人 金泰永;曲揚;張琦輝 申請（專利權(quán)）人 真芯（北京）半導(dǎo)體有限責任公司
代理機構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國科學院微電子研究所;真芯（北京）半導(dǎo)體有限責任公司
地址 100029北京市朝陽區(qū)北土城西路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于晶圓翻轉(zhuǎn)的機械手及機器人。本申請中的用于晶圓翻轉(zhuǎn)的機械手包括基座、夾緊單元和翻轉(zhuǎn)單元，夾緊單元與基座相連，用于對晶圓進行夾緊，翻轉(zhuǎn)單元與基座相連，用于對基座進行翻轉(zhuǎn)。根據(jù)申請中的用于晶圓翻轉(zhuǎn)的機械手，通過移動機械手至晶圓的上方，夾緊單元對晶圓進行夾緊，翻轉(zhuǎn)單元轉(zhuǎn)動基座，基座翻轉(zhuǎn)的同時帶動夾緊單元和晶圓共同翻轉(zhuǎn)，從而實現(xiàn)晶圓的抓取和翻轉(zhuǎn)在同一機構(gòu)上的共同操作，避免了晶圓由機械手轉(zhuǎn)移至翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的過程，從而減少了晶圓翻轉(zhuǎn)過程的時間，提高了晶圓的檢測效率。??