一種適用于黑硅挖孔的槽體

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921280257.1 申請日 -
公開（公告）號 CN211199474U 公開（公告）日 2020-08-07
申請公布號 CN211199474U 申請公布日 2020-08-07
分類號 C30B33/10 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐昆;付少劍;王立富;邵輝良;黃明;李超;孟少東 申請（專利權）人 江西展宇新能源股份有限公司
代理機構 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 江西展宇新能源股份有限公司
地址 334100 江西省上饒市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)旭日片區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種適用于黑硅挖孔的槽體，在原有結構基礎上副槽增加了精密濾網(wǎng)，藥液經(jīng)濾網(wǎng)過濾后，能夠去除廢渣及副產(chǎn)物，確保藥液的活性；主槽增加高速轉子，能加速槽體內藥液循環(huán)，從而提高藥液壽命，快速攪拌使槽內藥液更均勻，與硅片充分反應；同時增加溫度計數(shù)量，可精準確定槽體藥液溫度，便于監(jiān)控槽體內溫度變化，防止電機空轉。