一種管式鍍膜石墨舟、管式加熱爐及太陽能電池片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921621102.X 申請日 -
公開（公告）號 CN211199397U 公開（公告）日 2020-08-07
申請公布號 CN211199397U 申請公布日 2020-08-07
分類號 C23C16/458;C23C16/46;H01L31/18 分類 -
發(fā)明人 史偉偉;游鎮(zhèn)博;彭國印;劉小鋼;趙勇強(qiáng);鐘文兵 申請（專利權(quán)）人 江西展宇新能源股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 江西展宇新能源股份有限公司
地址 334100 江西省上饒市上饒經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)旭日片區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種PECVD管式鍍膜石墨舟，包括舟體及隔熱板；所述舟體包括石墨舟頁及連接塊；所述連接塊用于連接相鄰的所述石墨舟頁；所述隔熱板設(shè)置在外舟頁的外側(cè)，與所述外舟頁平行相隔有間距，用于減弱爐管至待鍍膜硅片的熱輻射；所述隔熱板與所述舟體之間無電連接。本申請通過在所述舟體外側(cè)增設(shè)隔熱板，并規(guī)定所述隔熱板與所述舟體絕緣，以免短路。本申請通過減弱垂直于所述石墨舟頁的方向的熱輻射，進(jìn)而降低所述舟體外側(cè)與內(nèi)側(cè)的溫度差，提高整舟的硅片鍍層的膜厚與折射率的均勻性和一致性。本申請同時(shí)還提供了一種具有上述有益效果的管式加熱爐及太陽能電池片。