一種增強太陽能電池氫鈍化能力的富氫PECVD工藝方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810410325.5 申請日 -
公開（公告）號 CN108767056B 公開（公告）日 2020-05-15
申請公布號 CN108767056B 申請公布日 2020-05-15
分類號 H01L31/18;H01L21/02;H01L31/0216 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉慶平;邵輝良;鄒臻峰;邱江南;陳圓;付少劍 申請（專利權(quán)）人 江西展宇新能源股份有限公司
代理機構(gòu) 南昌恒橋知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江西展宇新能源股份有限公司;江西展宇新能科技有限公司
地址 334100 江西省上饒市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)旭日片區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種增強太陽能電池氫鈍化能力的富氫PECVD工藝，在通常的PECVD鍍膜后，將硅烷、氨氣關(guān)閉，進一步利用氫氣進行等離子體沉積。本發(fā)明提供的PECVD工藝形成的減反射膜層中具有高濃度的氫含量，為后續(xù)的電注入及光注入鈍化工藝提供充分的氫，以達到更好的鈍化效果提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。此工藝在現(xiàn)有工業(yè)生產(chǎn)條件下進行改造，簡單有效，具有較高的實用價值。