人造石英晶體籽晶片的腐蝕裝置及腐蝕方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811207903.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109371456A 公開(kāi)（公告）日 2019-02-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN109371456A 申請(qǐng)公布日 2019-02-22
分類號(hào) C30B7/10;C30B29/18;C30B33/10 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 劉德輝;易際讓 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東博達(dá)光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 代理人 金祺
地址 271500 山東省泰安市東平縣經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種石英晶體籽晶片腐蝕控制裝置：包括籽晶片腐蝕主體機(jī)架、腐蝕箱和水浴箱，籽晶片腐蝕主體機(jī)架上設(shè)置有定時(shí)器和帶有電機(jī)的轉(zhuǎn)軸，定時(shí)器與轉(zhuǎn)軸連接，轉(zhuǎn)軸上固定設(shè)置有牽引桿；牽引桿上設(shè)置有可自由轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)輪，轉(zhuǎn)輪上固定設(shè)置有牽引線，腐蝕箱頂部設(shè)置有牽引通孔和通氣管孔，腐蝕箱放置在水浴箱中，牽引線依次穿過(guò)限位孔和牽引通孔后與提繩固定連接；本發(fā)明還提供一種石英晶體籽晶片腐蝕方法，人造石英晶體籽晶片在腐蝕液中往復(fù)運(yùn)動(dòng)；本發(fā)明強(qiáng)調(diào)了腐蝕液體的溫度控制，有效的控制了腐蝕液的過(guò)飽和度，從腐蝕液濃度保障了勻速腐蝕。