一種氣相沉積鍍膜系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110075451.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112921306A 公開（公告）日 2021-06-08
申請公布號 CN112921306A 申請公布日 2021-06-08
分類號 C23C16/509;C23C16/458 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 鄧必龍;張向東 申請（專利權(quán)）人 龍鱗（深圳）新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 潘登
地址 518000 廣東省深圳市坪山區(qū)坪山街道六聯(lián)社區(qū)坪山大道2007號創(chuàng)新廣場裙樓202
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種氣相沉積鍍膜系統(tǒng)，其包括第一電極組件，沿豎直方向設(shè)置；多個第二電極組件，沿豎直方向設(shè)置，且多個所述第二電極組件繞所述第一電極組件的周向間隔設(shè)置；治具，設(shè)置在所述第一電極組件和所述第二電極組件之間，在所述治具上插設(shè)有與所述治具相垂直的托盤，所述托盤上用于盛放待鍍膜的工件；公轉(zhuǎn)組件，用于驅(qū)動所述治具繞所述第一電極組件的中心轉(zhuǎn)動；自轉(zhuǎn)組件，與所述治具傳動連接，用于驅(qū)動所述治具繞自身軸線轉(zhuǎn)動。本發(fā)明能夠保證成膜的均勻性，同時治具上的托盤便于拆裝。