硝基苯甲醇磺酸酯化合物作為增速劑在光刻膠中的應(yīng)用、用于制備光刻膠的組合物

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011643470.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112799280A 公開（公告）日 2021-05-14
申請公布號 CN112799280A 申請公布日 2021-05-14
分類號 G03F7/022;G03F7/023;C07C309/66;C07C309/65 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 孫嘉;李冰;馬潔;陳昕;王文芳;董棟;張寧 申請（專利權(quán)）人 北京科華微電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 余菲
地址 101312 北京市順義區(qū)竺園路4號（天竺綜合保稅區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┫趸郊状蓟撬狨セ衔镒鳛樵鏊賱┰诠饪棠z中的應(yīng)用、用于制備光刻膠的組合物，屬于半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域。硝基苯甲醇磺酸酯化合物在受熱后會分解產(chǎn)生路易斯質(zhì)子酸，使其能夠作為增速劑添加到酚醛樹脂?重氮奈醌型光刻膠和化學(xué)放大光刻膠中，提升光刻膠的感光速度，光刻膠的感光能力提升20％以上。在酚醛樹脂?重氮奈醌型光刻膠中，增速劑能夠在膠膜底部釋放的相對濃度更高的路易斯質(zhì)子酸，從而彌補(bǔ)了膠膜底部生成的茚酸不足的缺陷，幫助樹脂在膠膜底部快速溶解。在化學(xué)放大光刻膠中，增速劑和產(chǎn)酸劑協(xié)同作用在曝光區(qū)域沿著膠膜厚度縱向方向產(chǎn)生良好的路易斯質(zhì)子酸環(huán)境，從而提升光刻膠感光速度和消除圖形不垂直等形貌缺陷。